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让先辈制程更环保:日本纸业巨头王子控股进军


  IT之家 1 月 24 日动静,其最新方针是开辟一种采用木基生物质材料的正性光刻胶,方针到 2028 年实现贸易化。王子控股正在光刻胶出产上的手艺线是从木材中提取可用于光刻胶的前体材料,然后将前体材料和特定溶剂夹杂聚合(并采用净化手艺去除杂质),如许就获得了光刻胶成品。王子控股其木基光刻胶可满脚 2nm 先辈制程需求。保守的正性光刻胶凡是需要添加无害的“永世化学品”PFAS 来提高光敏度,而王子控股的木基光刻胶正在 EUV 极紫外光下的降解速度比保守产物超出跨越 8 倍,更为环保的同时也可提拔先辈制程图案化的质量。王子控股暗示,其正在木基光刻胶上的贸易方针是到 30 年代每年实现 100 亿日元(IT之家备注:当前约 4。67 亿元人平易近币)的发卖额。





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